一种密封驱动装置及原子层沉积设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种密封驱动装置及原子层沉积设备，其中，所述密封驱动装置包括：壳体，所述壳体用于形成真空室；波纹管，所述波纹管靠近所述壳体的一端设置有法兰，所述法兰固定于所述壳体外表面上；驱动轴，所述驱动轴一端依次穿过所述波纹管、法兰以及壳体以伸入所述真空室中，所述驱动轴另一端位于所述真空室外并与所述波纹管密封设置，本实用新型保证了真空室的气密性，并且降低了生产成本。
基本信息
专利标题 ：
一种密封驱动装置及原子层沉积设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020673167.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-27
授权号 ：
CN212151024U
授权日 ：
2020-12-15
发明人 ：
李哲峰乌磊郑文岸张光海
申请人 ：
深圳市原速光电科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区新安街道群辉路1号优创空间一号楼511-513
代理机构 ：
深圳市世纪恒程知识产权代理事务所
代理人 ：
魏兰
优先权 ：
CN202020673167.5
主分类号 ：
B65H23/032
IPC分类号 ：
B65H23/032 F16J15/52 F16J15/06 C23C16/455
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65H
搬运薄的或细丝状材料，如薄板、条材、缆索
B65H23/00
定位、张紧、平整或引导条材
B65H23/02
横向地
B65H23/032
控制条材的横向定位
法律状态
2020-12-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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