一种真空涂层设备用真空室的冷却装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种真空涂层设备用真空室的冷却装置，包括真空室、循环泵、换热装置、冷却装置、与真空室相连通的惰性气体瓶；真空室的上端和下端均开设有一个标准法兰口，两个标准法兰口上均焊接有密封法兰，真空室与循环泵通过第一管道和第二管道相连通，第一管道的出口端与循环泵的进口端相连通，第一管道的进口端与真空室上的其中一个密封法兰固定连接，第二管道的出口端与真空室上的另外一个密封法兰固定连接，第二管道的进口端与循环泵的出口端相连通；换热装置固定设于第一管道上，冷却装置与换热装置相互连通，换热装置外部设有箱体，换热装置固定设于箱体内，第一管道与箱体相互连通。本实用新型具有节能环保、提高生产效率的优点。
基本信息
专利标题 ：
一种真空涂层设备用真空室的冷却装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020632619.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-23
授权号 ：
CN214088638U
授权日 ：
2021-08-31
发明人 ：
卢国英石昌仑兰睿
申请人 ：
常州夸克涂层科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市武进区常武中路18号常州科教城大连理工大学常州研究院科技产业大厦B座218—219
代理机构 ：
大连理工大学专利中心
代理人 ：
梅洪玉
优先权 ：
CN202020632619.5
主分类号 ：
C23C14/00
IPC分类号 ：
C23C14/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
法律状态
2021-08-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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