本实用新型属于自动化镀膜的技术领域，尤其涉及一种可调靶基距的基片装夹装置。包括基片架框架，所述基片架框架上设有多个可用于安装垫片的安装位，通过安装不同高度的垫片可调节基片镀膜表面与靶材表面之间的靶基距使异型基片正面镀膜时的靶基距与反面镀膜时的靶基距相等或接近。通过在用于装放基片的基片架上设置安装位安装位，可安装垫片，使得基片正反面在连续镀膜过程中，通过选择不同的装夹装置，可直接改变基片正反面镀膜的靶基距，从而保证产品正反面镀膜时工艺的一致性以及膜层性能的一致性。而且通过安装不同的垫片，可使满足不同规格的基片调节实用，无需更换基片架，其灵活性强。