一种真空镀膜装置
授权
摘要
本实用新型公开一种真空镀膜装置，涉及镀膜装置技术领域，主要结构包括外壳、旋转台、下顶柱、导向柱、升降台和上顶柱；金属管的底端直接套在下顶柱上，通过绞车调整升降台的高度，使下顶柱插入金属管的顶端，依靠升降台的自重将金属管固定在升降台与旋转台之间，通过旋转台的转动带动金属管转动，从而使金属管能够高质量的完成镀膜并能够避免金属管之间的碰撞。同时，外壳内设置的冷却水箱能够降低外壳内的温度，以保证真空镀膜能够正常进行。
基本信息
专利标题 ：
一种真空镀膜装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020600361.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-20
授权号 ：
CN211972437U
授权日 ：
2020-11-20
发明人 ：
廖斌欧阳晓平华青松
申请人 ：
北京师范大学;稳力（广东）科技有限公司
申请人地址 ：
北京市海淀区新街口外大街19号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020600361.0
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50 C23C14/24
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2020-11-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
