一种多曲面阀杆的镀膜装置
专利权的终止
摘要
本实用新型公开了一种多曲面阀杆的镀膜装置，包括真空镀膜机，所述真空镀膜机内中部垂直安装有转轴，且转轴的一端转动连接在真空镀膜机的底部，所述转轴的另一端垂直连接有安装板，且转轴外侧垂直连接有多个支撑杆，所述支撑杆设置在转轴上靠近安装板的一端，且支撑杆上远离转轴的一端分别固定连接有定位杆，所述定位杆上靠近支撑杆的一端固定连接有定位夹块。该种多曲面阀杆的镀膜装置，在真空镀膜机内设置了旋转装置，在镀膜的时候，曲面阀杆能跟随转动，实现多角度的均匀镀膜，而且在真空镀膜机的两侧内壁上设置了具备升降功能的离子放射装置，根据离子放射状的运动轨迹以及旋转装置的转动速度，可以实现多曲面阀杆的均匀镀膜。
基本信息
专利标题 ：
一种多曲面阀杆的镀膜装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020597048.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-21
授权号 ：
CN212152431U
授权日 ：
2020-12-15
发明人 ：
张广安蔡恰恰张浮格
申请人 ：
徐州睿创智能科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省徐州市铜山区大学路99号高新区大学创业园A205-76
代理机构 ：
徐州创荣知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
晏荣府
优先权 ：
CN202020597048.6
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2022-04-12 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : C23C 14/50
申请日 : 20200421
授权公告日 : 20201215
终止日期 : 20210421
申请日 : 20200421
授权公告日 : 20201215
终止日期 : 20210421
2020-12-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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