晶圆焊接平台
授权
摘要
本实用新型属于半导体加工制造领域,尤其是一种晶圆焊接平台,针对现有的效率低、不良率高、产品质量稳定性差的问题,现提出如下方案,其包括三个平台,所述平台的顶部设置有三个支撑块,三个支撑块上放置有同一个晶圆,平台上设置有多个加热棒,平台上设置有加热冷却板和冷却腔,平台的下方设有旋转电机,旋转电机的输出轴上固定连接有旋转安装轴,旋转安装轴上固定连接有齿轮,齿轮的上方设有真空接头和隔热环,真空接头的下方设有真空旋转接头,真空旋转接头的外侧固定连接有电旋转接头。本实用新型实用性好,弥补了现有生产中人工肉眼观察定位的不稳定性,简易机械的不易调整、加工质量差等问题。
基本信息
专利标题 :
晶圆焊接平台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020578809.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-04-17
授权号 :
CN212946142U
授权日 :
2021-04-13
发明人 :
闫志旺
申请人 :
天津志臻自动化设备有限公司
申请人地址 :
天津市滨海新区华苑产业区海泰华科三路1号2号楼A座-1-109
代理机构 :
北京化育知识产权代理有限公司
代理人 :
尹均利
优先权 :
CN202020578809.3
主分类号 :
B23K37/00
IPC分类号 :
B23K37/00 B23K37/04 B23K37/047
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B23
机床;其他类目中不包括的金属加工
B23K
钎焊或脱焊;焊接;用钎焊或焊接方法包覆或镀敷;局部加热切割,如火焰切割;用激光束加工
B23K37/00
非专门适用于仅包括在本小类其他单一大组中的附属设备或工艺
法律状态
2021-04-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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