一种台式膜厚测量装置
授权
摘要
一种台式膜厚测量装置，包括盒体、十字移动平台、硅片托盘、遮光罩、测头、微分调节器、光纤、悬臂、电源输入口、信号输出口；十字移动平台移动式地安装在盒体顶面，硅片托盘固定在十字移动平台上；测头通过悬臂安装并配有微分调节器，其位于硅片托盘上方，测头上安装遮光罩；悬臂底部固定连接于盒体的一侧，并设有电源输入口和信号输出口。本装置用于离线膜厚测量，适用于生产线的采样测量控制及精密涂膜的实验室研究等，多参数可调，能适应不同样品的测量。
基本信息
专利标题 ：
一种台式膜厚测量装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020577177.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-17
授权号 ：
CN211552737U
授权日 ：
2020-09-22
发明人 ：
何完成朱峥嵘张庞庞陈林生朱华
申请人 ：
昆山胜泽光电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山市昆山开发区前进东路科技广场902室
代理机构 ：
南京正联知识产权代理有限公司
代理人 ：
沈留兴
优先权 ：
CN202020577177.9
主分类号 ：
G01B11/06
IPC分类号 ：
G01B11/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B11/06
用于计量厚度
法律状态
2020-09-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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