一种LDI光源发生装置

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

摘要

本实用新型公开了一种LDI光源发生装置，包括发光源、椭球体聚光镜和光纤，所述发光源的中心位于所述椭球体聚光镜的第一焦点上；所述椭球体聚光镜的内表面为多层级的反射镜结构；所述光纤的入射端口设置在所述椭球体聚光镜的第二焦点上。本实用新型中的LDI光源发生装置，椭球体聚光镜可将发光源在第一焦点处的发出的光线聚集到第二焦点上，产生光束集中、发散角小、光功率密度高、含有复合波长并且高能量的光源，满足LDI曝光工序中对光源的要求，且制作成本低，结构简单，稳定性强。

基本信息

专利标题：

一种LDI光源发生装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020509834.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-04-09

授权号：

CN211979417U

授权日：

2020-11-20

发明人：

陈志特王华吴中海冯明瑞

申请人：

东莞科视自动化科技有限公司

申请人地址：

广东省东莞市东城区主山振兴路333号（B幢一楼）

代理机构：

东莞市中正知识产权事务所(普通合伙)

代理人：

成伟

优先权：

CN202020509834.6

主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F7/20

IPC结构图谱

G部——物理

G03

摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术

G03F

图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备

G03F7/00

图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备

G03F7/20

曝光及其设备

法律状态

2021-03-05 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

IPC(主分类) : G03F 7/20
变更事项 : 专利权人
变更前 : 东莞科视自动化科技有限公司
变更后 : 广东科视光学技术股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 523000 广东省东莞市东城区主山振兴路333号（B幢一楼）
变更后 : 523000 广东省东莞市东城区主山振兴路333号(B幢一楼)

2020-11-20 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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