本实用新型涉及一种防回吸电子真空泵机构，基于外置防回吸组件，使得电子真空泵能够提高防异物侵入能力，防止异物在真空泵停止工作时随空气回吸进入泵体损毁真空泵。并且，外置防回吸组件拆装方便，便于维护。外置防回吸组件的单向阀可从防护套件的安装口直接进行推入安装，装配简单快速。单向阀通过紧固斜块与防护套件进行倒勾装配，保证单向阀与防护套件的连接强度，有效防止单向阀脱落；同时可实现防呆安装，保证单向阀的准确安装。防护套件与电子真空泵的出气管可直接密封插接，拆装方便。通过防护套件的卡孔与电子真空泵的卡块配合卡装，保证外置防回吸组件与出气管的连接强度，有效防止外置防回吸组件脱落。