本实用新型涉及一种硅片加工用超声波清洗机，包括超声波清洗机，该超声波清洗机上设置有清洗槽，所述清洗槽的底端设置有承接板，该承接板的上端面向下延伸设置有定位孔，定位孔上可拆卸地设置有硅片放置组件，所述硅片放置组件包括石英壶和放置架，放置架放置于石英壶内，该放置架上端面向下延伸设置有卡槽，所述石英壶的下端面设置有定位杆，该定位杆可拆卸地安装在定位孔中，所述超声波清洗机上还设置有烘干槽，该烘干槽设置在清洗槽的一侧，所述烘干槽的底端设置有与定位杆相对应的紧固槽，所述烘干槽的内壁上设置有加热器。本实用新型中定位孔和定位杆的设计，使石英壶可拆卸地安装在清洗槽中，方便对硅片的拿取以及放置。