一种基于前端VF调压方式稳定输出的CVD高压电源
授权
摘要
本实用新型公开一种基于前端VF调压方式稳定输出的CVD高压电源，包括通入的三相交流电和输出的微波管高压，在所述三相交流电与输出的微波管高压电路之间添设有VF变频调节环节，所述VF变频调节环节输出端与高压升压环节电性连接；本实用新型结构设计合理，本方案通过在CVD高压电源的前端增加VF环节，通过对磁控管两端的实际电压监测，不断的根据具体的情况，实时的调整高压电源的输入，从而达到稳定高压输出的目的，这种方式可以降低由于市电电压不稳定造成的影响，也可以解决磁控管不同的工况下，由于工作电流大小的不同，电源内阻的存在，实际加在磁控管两端的电压会不断变化的问题；从而提高磁控管两端高压的稳定性，保证合成的质量。
基本信息
专利标题 ：
一种基于前端VF调压方式稳定输出的CVD高压电源
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020458098.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-01
授权号 ：
CN211701883U
授权日 ：
2020-10-16
发明人 ：
郑辉超邢文姬薛冰
申请人 ：
郑州天宏自动化技术有限公司
申请人地址 ：
河南省郑州市高新开发区翠竹街6号2号楼
代理机构 ：
郑州欧凯专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
余佳
优先权 ：
CN202020458098.6
主分类号 ：
H02M7/42
IPC分类号 ：
H02M7/42 G05F1/10
法律状态
2020-10-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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