一种含砷颗粒物的去除设备机
授权
摘要
本实用新型提供了一种含砷颗粒物的去除设备机，其包括机壳、滤箱架、第一滤箱、第二滤箱、气管组件及排气组件；滤箱架设置在机壳内，第一滤箱和第二滤箱从上到下依次间隔设置在滤箱架上；第一滤箱从下到上依次设有第一粉尘容置槽、第一有害中和槽、第一除湿吸附槽及第一高效滤棉层；第二滤箱从下到上依次设有第二粉尘容置槽、第二有害中和槽、第二除湿吸附槽，这样，半导体制造过程产生的含砷废气由第一入气管输入后，通过三通管、第二入气管及第三入气管可分别进入第一滤箱和/或第二滤箱，并经过第一滤箱和/或第二滤箱过滤后，可将含砷颗粒物截留在第一滤箱和/或第二滤箱内，而符合国家环保要求的废气，再通过排气组件送出，有利于环保。
基本信息
专利标题 ：
一种含砷颗粒物的去除设备机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020428578.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-27
授权号 ：
CN211885817U
授权日 ：
2020-11-10
发明人 ：
董耀明
申请人 ：
广深高阶电子工程（深圳）有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙华区民治街道新牛社区民治大道牛栏前大厦A1409
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020428578.8
主分类号 ：
B01D46/00
IPC分类号 ：
B01D46/00 B01D53/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D46/00
专门用于把弥散粒子从气体或蒸气中分离出来的经过改进的过滤器和过滤方法
法律状态
2020-11-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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