MEMS气体流量检测芯片以及智能气体流量仪表

授权

摘要

本实用新型实施例公开了一种MEMS气体流量检测芯片以及智能气体流量仪表，该MEMS气体流量检测芯片包括：基底；流量传感器以及至少一个环境参数传感器集成在所述基底的正面。本实用新型实施例提供的技术方案，实现了通过单颗芯片完成流量以及多种环境参数的测量。

基本信息

专利标题：

MEMS气体流量检测芯片以及智能气体流量仪表

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020385451.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-03-24

授权号：

CN212275006U

授权日：

2021-01-01

发明人：

肖素艳

申请人：

苏州敏芯微电子技术股份有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号纳米城NW-09楼501室

代理机构：

北京品源专利代理有限公司

代理人：

孟金喆

优先权：

CN202020385451.2

主分类号：

G01F1/68

IPC分类号：

G01F1/68 G01D21/02 B81B7/02