一种纳米压印基板定位系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种纳米压印基板定位系统，底座的上侧壁通过支架固定安装有基板承载台，基板承载台支架的上侧壁通过第一连接杆固定连接有支撑杆的一端，支撑杆的另一端通过第一固定块固定连接有弹簧的一端，设备中央控制单元控制升降支撑顶针下降，基板落于设备基板承载台上，之后打开真空泵，基板于纳米压印设备内的定位、固定动作结束，继续进行下一步的压印流程，使得基板的对位更加快速精准，保证了纳米压印的精确性，提升了工作效率，从而很好的降低了生产成本，在基板承载台支架使用的过程，通过弹簧增加缓冲力，提高基板移动过程的稳定性，进而提高了基板定位的准确性。
基本信息
专利标题 ：
一种纳米压印基板定位系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020364590.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-21
授权号 ：
CN211429652U
授权日 ：
2020-09-04
发明人 ：
冀然
申请人 ：
青岛天仁微纳科技有限责任公司
申请人地址 ：
山东省青岛市城阳区长城路89号青岛博士创业园21A号楼407、408室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020364590.7
主分类号 ：
H05K3/00
IPC分类号 ：
H05K3/00
法律状态
2020-09-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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