涂布装置静电监控系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种涂布装置静电监控系统,包括采集涂布装置在涂布前、涂布中以及涂布后三个阶段的基板静电数据的静电监控传感器组;以及接收所述基板静电数据并根据所述基板静电数据对基板进行除静电操作的除静电装置。本实用新型不仅能够真实反映出基板在涂布各个动作时静电状况,同时针对高发静电时刻进行及时的除静电补偿对策,防止批量不良发生。对于飘高原因进行调查,同时除静电装置的能力也可以做到监控,真正起到准确判定异常原因、及时有效采取对策、日常监控防患的作用。
基本信息
专利标题 :
涂布装置静电监控系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020337634.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-03-18
授权号 :
CN211865687U
授权日 :
2020-11-06
发明人 :
郭维兵翟云华沙双庆赵辉金杨林庄恩泽
申请人 :
南京中电熊猫平板显示科技有限公司
申请人地址 :
江苏省南京市栖霞区天佑路7号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202020337634.7
主分类号 :
B05C11/00
IPC分类号 :
B05C11/00 G01R29/24 H05F3/00
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B05
一般喷射或雾化;对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C11/00
在B05C1/00至B05C9/00中没有专门列入的部件、零件及附件
法律状态
2020-11-06 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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