基于压电单元的三维力感知阵列传感器
授权
摘要
本实用新型公开了一种基于压电单元的三维力感知阵列传感器，基于压电单元的三维力感知阵列传感器包括多个传感单元，传感单元包括硅基底、电极、导电层、压电纤维柱和绝缘层。电极的数量为四个且电极与硅基底连接，并位于硅基底的一侧，导电层位于电极远离硅基底的一侧，且连接负极，压电纤维柱的数量为四个，四个压电纤维柱与电极和导电层电连接，并垂直于电极和导电层之间，且位于靠近导电层边缘的一侧，绝缘层与导电层连接，并位于导电层远离四个压电纤维柱的一侧，多个传感单元沿以导电层中心点为原点建立的直角坐标系的X轴和Y轴阵列排列。实现对大面积三维力空间高分辨率、高精度的三维感知、结构简单、灵敏度高。
基本信息
专利标题 ：
基于压电单元的三维力感知阵列传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020253985.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-04
授权号 ：
CN211527684U
授权日 ：
2020-09-18
发明人 ：
徐晋勇莫鞠忠覃国贺
申请人 ：
桂林智工科技有限责任公司;桂林电子科技大学
申请人地址 ：
广西壮族自治区桂林市七星区铁山工业园Z-7-1号C地块
代理机构 ：
桂林文必达专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
白洪
优先权 ：
CN202020253985.X
主分类号 ：
G01L1/16
IPC分类号 ：
G01L1/16 G01L9/08
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
G01L1/16
利用压电器件的性质
法律状态
2020-09-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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