一种BBD传感器调节机构
授权
摘要
本实用新型公开了一种BBD传感器调节机构，包括安装在主轴输出端上的主轴连接板，所述主轴连接板上侧设有安装座，且主轴连接板后端面右侧上开设有条形槽，所述安装座前端面右侧上固定有BBD传感器，所述BBD传感器隐藏在条形槽内，所述安装座上端面一侧啮合调节旋钮螺钉，所述调节旋钮螺钉贯穿于安装座并与主轴连接板螺纹连接，本实用新型改变调节螺栓在主轴连接板上端的长度，改变安装座与主轴连接板之间的距离，从而带动安装座上的BBD传感器靠近或远离切割刀片，适用于不同主轴出轴距离的晶圆划片机，适用范围大，结构简单方便操作。
基本信息
专利标题 ：
一种BBD传感器调节机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020204684.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-02-24
授权号 ：
CN211455656U
授权日 ：
2020-09-08
发明人 ：
朱晔陈旻皓
申请人 ：
无锡立朵科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区菱湖大道228号天安智慧城3-506
代理机构 ：
上海联科律师事务所
代理人 ：
赵旭
优先权 ：
CN202020204684.8
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2020-09-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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