本实用新型提供的一种晶圆切割用定位工装；包括工作台、定位组件、推进组件和切割组件；定位组件位于工作台上，与工作台相连接，承载待切割的硅棒；推进组件位于定位组件的一侧，对应定位组件；切割组件位于工作台的下方，在竖直方向上运动，对应定位组件。本实用新型提供的一种晶圆切割用定位工装，通过顶板和推进板将硅棒定位在限位套内，步进电机的逐步推进可以准确定位切割尺寸，而恒压缸可以确保顶板的位置，在步进电机推进一步时压紧硅棒，切割刀片利用切割槽对硅棒进行切割，切割完成后再次推进，新的切割部位推送到切割槽处进行切割，省去了多次装夹工序和顶尖结构，提高切割效率和准确度，减少材料浪费。