防晃动二次加料部件及单晶炉
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摘要

一种防晃动二次加料部件,包括不等径石英管、钼杆、连接轴、锥形盖体、支撑环,不等径石英管的两端部的内径小于中间部的内径,钼杆的上端与连接轴连接,钼杆的下端穿过不等径石英管,钼杆的下端与锥形盖体的锥端连接,锥形盖体相对锥端的一端面直径不小于不等径石英管的两端部的内径,支撑环的内径等于不等径石英管的外径,支撑环套装在不等径石英管的外环壁上,本实用新型中,采用内径较大的石英管,在其两端部进行改造,使得石英管两端部内径缩小至要求尺寸,使钼杆和石英管之间接触更紧密,减少晃动,避免钼杆将石英管损坏,同时采用内径较大的石英管,仅对其两端加工改进,制作成本相对低,本实用新型还提供了一种单晶炉。

基本信息
专利标题 :
防晃动二次加料部件及单晶炉
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020187302.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-02-20
授权号 :
CN212800601U
授权日 :
2021-03-26
发明人 :
芮阳马成王忠保
申请人 :
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
申请人地址 :
宁夏回族自治区银川市西夏区光明西路28号
代理机构 :
宁夏合天律师事务所
代理人 :
孙彦虎
优先权 :
CN202020187302.5
主分类号 :
C30B15/02
IPC分类号 :
C30B15/02  C30B29/06  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长,例如Czochralski法
C30B15/02
向熔融液中添加结晶化材料或添加反应过程中就地生成结晶化材料之反应物的
法律状态
2021-03-26 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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