本实用新型提供了真空等离子设备，包括等离子设备主体及真空泵，真空泵位于等离子设备主体所在的第一箱体外，还包括第二箱体，真空泵位于第二箱体内，第二箱体一面上固定第一连接圈，第一箱体至少两面上固定第二连接圈，第一连接圈与第二连接圈通过螺栓固定，真空泵进气口处设连接管，连接管另端与等离子体设备主体的腔室内连通，第二箱体内铺设有消音层，本真空等离子设备主用于清洗工件，主要改进点在于真空泵的安装结构，增设第二箱体，通过第一连接圈、第二连接圈的配合，使第一箱体、第二箱体固定，分体式结构便于调整位置，便于厂房或实验室布局安装，并在第二箱体内安装消音层，大幅降低第二箱体内的真空泵产生的噪音，工作环境更舒适。