一种气体管道的测试设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种气体管道的测试设备,属于检测设备技术领域。该气体管道的测试设备,用于对至少两个气体管道的测试,包括并联连接的抽真空单元、保压单元、检测单元和充气单元,其中,抽真空单元并列设置有多个第一通路,每个第一通路与对应的一个气体管道连接,用于相应气体管道的抽真空;保压单元并列设置有多个第二通路,每个第二通路与对应的一个气体管道连接,用于相应气体管道的保压;检测单元用于相应气体管道的气密性检测及水分、氧分及颗粒的检测;充气单元并列设置有多个第三通路,每个第三通路与对应的一个气体管道连接,用于向相应气体管道内充气。本实用新型提供的气体管道的测试设备,满足批量化生产需求,提高工作效率。
基本信息
专利标题 :
一种气体管道的测试设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020018603.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-01-06
授权号 :
CN211147965U
授权日 :
2020-07-31
发明人 :
刘洋
申请人 :
上海正帆科技股份有限公司;江苏正帆半导体设备有限公司
申请人地址 :
上海市闵行区春永路55号2幢
代理机构 :
北京品源专利代理有限公司
代理人 :
胡彬
优先权 :
CN202020018603.5
主分类号 :
G01M3/22
IPC分类号 :
G01M3/22 G01N33/00 G01N15/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试;其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M3/00
结构部件的流体密封性的测试
G01M3/02
应用流体或真空
G01M3/04
通过在漏泄点检测流体的出现
G01M3/20
应用特殊示踪物质,例如染料、荧光材料、放射性材料
G01M3/22
用于管、缆或管状物;用于管的连接或密封;用于阀门
法律状态
2020-07-31 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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