对于仪器到仪器可重复性的发射电流测量
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摘要
提供了一种对于仪器到仪器可重复性的发射电流测量。本发明描述了一种离子源组件,所述离子源组件包括:电子源,所述电子源被配置为将电子注入到离子体积中以使所述离子体积中的原子或分子电离,其中,所述电子源包括细丝;透镜电极,所述透镜电极位于电子源附近并包括开口,所述开口被配置为使电子从所述电子源穿过所述开口进入所述离子体积;电源电压源,所述电源电压源耦合至所述细丝并被配置为向所述细丝供应第一电压,其中,所述第一电压可操作为使所述离子体积中的分子电离。此外,偏置电压源耦合至所述电源电压源并被配置为向所述透镜电极供应偏置电压。撞击所述透镜电极的电子随后返回到所述细丝。
基本信息
专利标题 :
对于仪器到仪器可重复性的发射电流测量
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN113013015A
申请号 :
CN202011498154.X
公开(公告)日 :
2021-06-22
申请日 :
2020-12-17
授权号 :
CN113013015B
授权日 :
2022-06-03
发明人 :
L·G·鲍德温J·W·史密斯E·B·麦考雷
申请人 :
萨默费尼根有限公司
申请人地址 :
美国加利福尼亚州
代理机构 :
上海专利商标事务所有限公司
代理人 :
周全
优先权 :
CN202011498154.X
主分类号 :
H01J49/02
IPC分类号 :
H01J49/02 H01J49/06 H01J49/16 H01J49/26
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J49/00
粒子分光仪或粒子分离管
H01J49/02
零部件
法律状态
2022-06-03 :
授权
2021-07-09 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 49/02
申请日 : 20201217
申请日 : 20201217
2021-06-22 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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