本申请公开了一种晶圆工作台、光刻机及晶圆工作台温度调节方法，该晶圆工作台包括载台、热电模块组件和控制模块，其中，载台用于放置晶圆；热电模块组件安装在载台上，用于调节载台以及晶圆的温度；控制模块与热电模块组件通信连接。本实施例提出的晶圆工作台通过在载台上安装热电模块组件，可以利用热电模块组件调节载台的温度，以及调节放置在载台上的晶圆的温度，避免载台和晶圆温度过低，以及避免载台和晶圆的不同部位产生温度差异，从而避免产品生产时套刻误差的产生，提高产品良率，解决了现有技术中通过热水循环调节存在的无法准确调节温度的问题。