一种传感器阵列及其制备方法和应用
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种传感器阵列及其制备方法和应用，所述传感器阵列包括依次设置的柔性衬底、第一电极层、第一保护层、第二电极层和传感层；所述第二电极层包括依次设置的第一粘附层、过渡层、第二粘附层和电极保护层。所述传感器阵列通过对结构的特殊设计以及对制备工艺的优化，使得所述传感器阵列兼具高密度、信号感知灵敏度高和失效率低等优点，为传感器阵列的设计和制备提供了一种新的思路，具有重要意义。
基本信息
专利标题 ：
一种传感器阵列及其制备方法和应用
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114447205A
申请号 ：
CN202011204391.0
公开（公告）日 ：
2022-05-06
申请日 ：
2020-11-02
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
张珽陆骐峰孙富钦王子豪
申请人 ：
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州工业园区独墅湖高教区若水路398号
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
巩克栋
优先权 ：
CN202011204391.0
主分类号 ：
H01L41/047
IPC分类号 ：
H01L41/047 H01L41/08 H01L41/29 H01L27/20 G01D5/12 G01L1/00 G01L9/00
法律状态
2022-05-24 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 41/047
申请日 : 20201102
申请日 : 20201102
2022-05-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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