本发明公开了一种硅基太阳能电池的制造设备，通过利用柔性衬底定位与处理机构对柔性衬底进行处理以使柔性衬底的处理面上产生凹凸不平的凹凸结构，可保证电池芯与柔性衬底之间的连接可靠性，凹凸不平的结构可以便于粘结胶的粘结，保证粘结效果，防止开裂问题；本发明对柔性衬底采用气动方式进行处理，先利用吸附固定负压泵使得处理平台上的吸附固定孔将柔性衬底进行负压吸附固定，然后，启动处理负压泵，利用处理孔以及吸附固定孔更大的负压吸附力对柔性衬底进行吸附，并吸附过程中，处理槽内的多孔硬质处理垫的凹凸粗糙结构会使得柔性衬底的表面产生相应的凹凸不平的凹凸结构，可保证处理性能，防止对柔性衬底产生损坏，保证柔性衬底性能。