一种背面钝化膜、制备方法及晶硅太阳能电池
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种晶硅太阳能电池的背面钝化膜，其中，背面钝化膜设置于硅衬底背面；背面钝化膜包括自硅衬底背面的表面依次向外设置的氮氧化硅层和氮化硅层。本发明提供的背面钝化膜能够提高太阳能电池钝化效果及背面反射率、电池效率，且沉积氮氧化硅和氮化硅膜的工艺过程简单，易于与常规工艺整合。
基本信息
专利标题 ：
一种背面钝化膜、制备方法及晶硅太阳能电池
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114420768A
申请号 ：
CN202011088856.0
公开（公告）日 ：
2022-04-29
申请日 ：
2020-10-13
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
范维涛陈浩黄钧林张鑫程晶
申请人 ：
意诚新能（苏州）科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区胜浦澄浦路15号5幢一楼
代理机构 ：
苏州创元专利商标事务所有限公司
代理人 ：
周敏
优先权 ：
CN202011088856.0
主分类号 ：
H01L31/0216
IPC分类号 ：
H01L31/0216 H01L31/18 H01L31/056
法律状态
2022-05-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/0216
申请日 : 20201013
申请日 : 20201013
2022-04-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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