本发明实施例提供一种基于环境监测系统的监测方法，用于监测无尘室内多个制程区域的空气污染物浓度，其特征在于，所述环境监测系统包括：采样装置，用于采集所述制程区域的环境样品，所述采样装置包括系统采样管路，所述环境样品包括空气；分析装置，与所述系统采样管路的输出端连通，用于分析采集到的所述环境样品；供气装置，与所述系统采样管路连通，所述供气装置用于提供吹扫气体，并利用所述吹扫气体吹扫所述系统采样管路；在单次采样期间，控制所述供气装置吹扫所述系统采样管路的时间与所述采样装置采样的时间比例为1：5，本发明实施例有利于每次采样循环后制程区域各种气体比例变化较小，提高了制程区域气体环境的稳定性。