本发明公开了一种辐射加热浸没单元洁净烘干装置及其烘干方法，通过在封闭的烘干箱体的上空腔内进行使用箱体上方外部的辐射加热器进行对浸没单元在稳定的干燥气体环境下进行加热烘干处理，通过第一出气口、第二出气口和箱底出气口进行配合上空腔和下空腔的干燥气体分隔处理，可使得烘干加热处理更加稳定洁净，通过温度传感器和湿度传感器分别对上空腔和下空腔的温湿度数据采集信息，可更可靠有效的获得对辐射加热器的启动工作与关停工作控制，可有效避免浸没单元因过热而导致部分装配件产生形变和功能失效，避免浸没单元加速老化或带来污染，提高浸没单元烘干清洁可靠稳定性。