一种运动台及其控制方法
授权
摘要
本发明公开了一种运动台及其控制方法。其中,运动台包括机架和至少两个移动台,机架包括机架底座和机架侧壁,至少两个移动台叠层设置于机架底座上,且任意两个移动台的移动方向不同,还包括用于判定运动台是否到达目标位置的到位检测模块,到位检测模块包括光电传感器和反射单元,光电传感器固定于机架侧壁上,反射单元与至少两个移动台中的最顶层移动台连接,光电传感器出射第一光束,若光电传感器接收到第一光束经反射单元反射后的反射光束,判定运动台到达目标位置,若光电传感器未接收到第一光束经反射单元反射后的反射光束,判定运动台未到达目标位置。本发明提供的运动台及其控制方法,在确保交接安全的情况下,降低了结构复杂度和成本。
基本信息
专利标题 :
一种运动台及其控制方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112050734A
申请号 :
CN202010885837.4
公开(公告)日 :
2020-12-08
申请日 :
2020-08-28
授权号 :
CN112050734B
授权日 :
2022-06-10
发明人 :
章富平李仲禹
申请人 :
上海精测半导体技术有限公司
申请人地址 :
上海市青浦区赵巷镇沪青平公路3398号1幢2层Q区202室
代理机构 :
北京品源专利代理有限公司
代理人 :
孟金喆
优先权 :
CN202010885837.4
主分类号 :
G01B11/00
IPC分类号 :
G01B11/00 G01B5/12
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
法律状态
2022-06-10 :
授权
2020-12-25 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/00
申请日 : 20200828
申请日 : 20200828
2020-12-08 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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