一种区域维护方法、装置、晶面机及存储介质
授权
摘要

本申请实施例提供一种区域维护方法、装置、晶面机及存储介质,其中,该方法包括获取范围参数,根据范围参数确定第一作业区域;获取划分参数,根据划分参数将第一作业区域划分为多个第二作业区域;根据预设路径策略对多个第二作业区域中的每个第二作业区域进行维护。相比于现有技术中人工操作的方式,本申请实施例以自动化的方式可以实现自动运行进行区域维护,从而有效保障维护效果。

基本信息
专利标题 :
一种区域维护方法、装置、晶面机及存储介质
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN111958330A
申请号 :
CN202010782537.3
公开(公告)日 :
2020-11-20
申请日 :
2020-08-06
授权号 :
CN111958330B
授权日 :
2022-04-12
发明人 :
卜大鹏王星徐聪赵长健丁成钰李振秦宝星程昊天
申请人 :
上海高仙自动化科技发展有限公司;苏州高之仙自动化科技有限公司
申请人地址 :
上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区郭守敬路498号8幢19号楼三层
代理机构 :
北京品源专利代理有限公司
代理人 :
孟金喆
优先权 :
CN202010782537.3
主分类号 :
B24B1/00
IPC分类号 :
B24B1/00  B24B51/00  B24B19/22  
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B1/00
磨削或抛光的工艺;与此工艺有关的所用辅助设备
法律状态
2022-04-12 :
授权
2020-12-08 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B24B 1/00
申请日 : 20200806
2020-11-20 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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