电容式MEMS陀螺仪及其加快起振速度的方法
授权
摘要
本发明提供了一种电容式MEMS陀螺仪及其加快起振速度的方法，所述电容式MEMS陀螺仪包括衬底、可动质量块、直流信号端、地线、第一开关、第二开关、第三开关；所述直流信号端经过所述第一开关电连接所述可动质量块；所述直流信号端经过所述第二开关电连接所述衬底；所述直流信号端依次经过所述第二开关和所述第三开关电连接所述地线；所述衬底经过所述第三开关电连接所述地线。
基本信息
专利标题 ：
电容式MEMS陀螺仪及其加快起振速度的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111879303A
申请号 ：
CN202010546410.1
公开（公告）日 ：
2020-11-03
申请日 ：
2020-06-16
授权号 ：
CN111879303B
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
邹波郭梅寒
申请人 ：
深迪半导体（上海）有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区环桥路555弄28号
代理机构 ：
上海剑秋知识产权代理有限公司
代理人 ：
杨飞
优先权 ：
CN202010546410.1
主分类号 ：
G01C19/5747
IPC分类号 ：
G01C19/5747
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01C
测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学
G01C19/00
陀螺仪；使用振动部件的转动敏感装置；不带有运动部件的转动敏感装置；使用陀螺效应测量角速率
G01C19/56
使用振动部件的转动敏感装置，例如基于科里奥利力的振动角速度传感器
G01C19/5719
使用被驱动做沿轴平移振动的平面振动部件
G01C19/5733
结构细节或拓扑
G01C19/574
反相运动中具有两个传感部件的装置
G01C19/5747
每个传感部件与一个驱动部件相连，例如驱动框架
法律状态
2022-04-05 ：
授权
2022-03-18 ：
著录事项变更
IPC(主分类) : G01C 19/5747
变更事项 : 申请人
变更前 : 深迪半导体（上海）有限公司
变更后 : 深迪半导体（绍兴）有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 201203 上海市浦东新区环桥路555弄28号
变更后 : 312030 浙江省绍兴市柯桥区柯桥经济技术开发区柯北大道487号智能创新中心5号楼
变更事项 : 申请人
变更前 : 深迪半导体（上海）有限公司
变更后 : 深迪半导体（绍兴）有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 201203 上海市浦东新区环桥路555弄28号
变更后 : 312030 浙江省绍兴市柯桥区柯桥经济技术开发区柯北大道487号智能创新中心5号楼
2020-11-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01C 19/5747
申请日 : 20200616
申请日 : 20200616
2020-11-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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