洁净室的空气净化装置及洁净室离子控制系统
授权
摘要
本发明提供一种洁净室的空气净化装置及洁净室离子控制系统，所述洁净室的空气净化装置包括第一离子监测器，设置于所述空气净化装置的进气口的前端；第一温控装置，与所述第一离子监测器连接；水洗装置，与所述第一温控装置连接；其中，所述第一温控装置及所述水洗装置的工作参数是根据所述第一离子监测器的监测结果来调控。本发明的空气净化装置通过在空气净化装置洁净室新风供应端的进气口端设置离子监测器，用于监测空气净化装置洁净室新风供应端进气口处的空气离子浓度，并根据监测到的空气净化装置洁净室新风供应端进气口处的空气离子浓度调控所述第一温控装置及所述水洗装置的工作参数，提高空气净化装置的清洁能力。
基本信息
专利标题 ：
洁净室的空气净化装置及洁净室离子控制系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113521940A
申请号 ：
CN202010317150.0
公开（公告）日 ：
2021-10-22
申请日 ：
2020-04-21
授权号 ：
CN113521940B
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
徐传芹
申请人 ：
合肥晶合集成电路股份有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号
代理机构 ：
上海光华专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
朱艳
优先权 ：
CN202010317150.0
主分类号 ：
B01D50/00
IPC分类号 ：
B01D50/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D50/00
用于从气体或蒸气中分离粒子的组合器械
法律状态
2022-06-14 ：
授权
2021-11-09 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B01D 50/00
申请日 : 20200421
申请日 : 20200421
2021-10-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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