基板处理装置
授权
摘要
一种将长条的片状基板于长条方向上搬送并对片状基板实施既定的处理的基板处理装置，且设置有：处理机构，其对片状基板的长条方向的每一部分实施既定的处理；搬送机构，其一面对通过处理机构的片状基板赋予既定的张力，一面将片状基板按照既定速度于长条方向上搬送；卡留机构，其配置于片状基板的搬送路径中的既定位置，且能够将片状基板卡留于既定位置；以及控制装置，其于暂时停止片状基板的搬送的情形时，以使片状基板的搬送速度降低的方式控制搬送机构，并且以于搬送速度成为既定值以下的时点将片状基板卡留于既定位置的方式控制卡留机构。
基本信息
专利标题 ：
基板处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111470362A
申请号 ：
CN202010235350.1
公开（公告）日 ：
2020-07-31
申请日 ：
2017-08-07
授权号 ：
CN111470362B
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
鬼头义昭加藤正纪奈良圭堀正和木内徹
申请人 ：
株式会社尼康
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
孙乳笋
优先权 ：
CN202010235350.1
主分类号 ：
B65H23/188
IPC分类号 ：
B65H23/188 B65H26/00 B65H20/02 B65G49/06 G03F7/24 G03F7/20 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65H
搬运薄的或细丝状材料，如薄板、条材、缆索
B65H23/00
定位、张紧、平整或引导条材
B65H23/04
纵向地
B65H23/18
通过控制或调整条材送进机构，如作用于运行条材的机构
B65H23/188
与送行条材有关
法律状态
2022-04-01 ：
授权
2020-08-25 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B65H 23/188
申请日 : 20170807
申请日 : 20170807
2020-07-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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