探针卡及WAT测试机台

授权

摘要

本发明公开了一种WAT测试机台，包括WAT自动参数测试仪和自动探针台，WAT自动参数测试仪的测试头设置在自动探针台测试机台柜的顶部，测试机台柜内设有用于承载被测试晶圆的承载盘，晶圆装载柜与测试机台柜相邻；第一风源，其形成在所述测试头顶部；第二风源，其形成在所述顶部；第三风源，其形成在所述测试机台柜左侧壁；第四风源，其形成在所述晶圆装载柜右侧壁；其中，所述测试头中心设有第一风道，测试机台柜右侧壁和探针卡装载柜左侧壁密闭相邻且其间形成有第二风道。本发明克服了WAT测试机台现有技术方案带来的弊端，有效提高了晶圆的测试洁净度。

基本信息

专利标题：

探针卡及WAT测试机台

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN111257605A

申请号：

CN202010078678.7

公开（公告）日：

2020-06-09

申请日：

2020-02-03

授权号：

CN111257605B

授权日：

2022-06-14

发明人：

徐晶肖尚刚周波

申请人：

上海华力集成电路制造有限公司

申请人地址：

上海市浦东新区张江高科技园区高斯路497号

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司

代理人：

焦天雷

优先权：

CN202010078678.7

主分类号：

G01R1/073

IPC分类号：

G01R1/073 B08B13/00 G01R31/26