一种用于碳化硅工件的倒角加工装置
授权
摘要
一种用于碳化硅工件的倒角加工装置，涉及半导体加工技术领域，其包括支撑件、调节件、打磨件和驱动装置，支撑件包括转轴，可以在驱动装置的驱动下旋转。多个打磨件的顶部与支撑件铰接，调节件套设于转轴之外。通过调整调节件的高度，利用调节件中圆台的上边缘将打磨件撑起，即可十分方便地改变打磨件的倾斜角度，从而加工出不同角度的倒角。该倒角加工装置的结构简单，使用方便，可以提高碳化硅工件的加工效率。
基本信息
专利标题 ：
一种用于碳化硅工件的倒角加工装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922449045.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-30
授权号 ：
CN211388095U
授权日 ：
2020-09-01
发明人 ：
马红彬宛鹏
申请人 ：
河南雅利安新材料有限公司
申请人地址 ：
河南省郑州市荥阳市金寨乡金寨村
代理机构 ：
成都市鼎宏恒业知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
张勋
优先权 ：
CN201922449045.8
主分类号 ：
B24B9/06
IPC分类号 ：
B24B9/06 B24B41/04
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B9/00
适用于磨削工件边缘或斜面或去毛刺的机床或装置；其附件
B24B9/02
以被磨制品材料性质为特征专门设计的
B24B9/06
非金属无机材料的，如石头，陶瓷制品，瓷器
法律状态
2020-09-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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