一种光学镀膜辅助离子源
授权
摘要
本实用新型公开了一种光学镀膜辅助离子源，包括放电室、位于放电室外侧的磁棒及依次安装在放电室正前方的屏极、加速极及中和灯丝，放电室内安装有第一阳极筒和第二阳极筒，放电室进口端内安装有位于第一阳极筒内的阴极，进口端沿周侧设有进气口，第一阳极筒和第二阳极筒之间设有栅极，第一阳极筒和第二阳极筒的内侧表面为凹凸不平的波浪形。本实用新型提供的一种光学镀膜辅助离子源，电子束流状态佳，稳定性好。
基本信息
专利标题 ：
一种光学镀膜辅助离子源
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922397576.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-26
授权号 ：
CN211125564U
授权日 ：
2020-07-28
发明人 ：
安建昊唐欢欢
申请人 ：
江苏普拉斯玛机械有限公司
申请人地址 ：
江苏省扬州市广陵区广陵产业园沙湾南路17号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201922397576.7
主分类号 ：
H01J37/08
IPC分类号 ：
H01J37/08 C23C14/46
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/04
电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置
H01J37/08
离子源；离子枪
法律状态
2020-07-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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