本实用新型公开了一种半导体圆片的转移装置，包括底座、转移机械手和转移夹具，转移夹具包括支臂和安装于支臂上的用于夹持圆片的圆环状的夹环，支臂安装于转移机械手的末端，该夹环包括若干段夹环段，每个夹环段的一端设置有弧形的插杆，另一端设置有与弧形插杆适配的插孔，每个夹环段的内侧底部均设置有卡舌，该卡舌的底部与夹环段的底部平齐，其中两个相邻的夹环段安装于支臂上，支臂和各夹环段上安装有驱动夹环段开合的开合机构，取片工位上设置有载片盘，载片盘上设置有工艺腔，工艺腔的腔壁上设置有与卡舌一一对应匹配的缺口。该转移装置可以很好的夹持圆片，避免转移过程中圆片松动，同时也可以无需再使用顶针顶升，可靠性更高。