一种掩膜板清洗机药液检测装置

授权

摘要

本实用新型提供一种掩膜板清洗机药液检测装置，包括清洗槽、第一电磁阀、透光容器、发光单元、光接收单元、处理单元和显示单元，清洗槽通过管路与第一电磁阀连通，第一电磁阀通过管路与透光容器连通，发光单元和光接收单元分别设置在透光容器的两侧，发光单元发出的光线经过透光容器后到达光接收单元，所述处理单元与第一电磁阀、光接收单元、显示单元连接。本方案通过光接收单元检测穿过透光容器内药液的光强度，可以准确地判断出药液有机物颗粒浓度，实现了药液有机物颗粒浓度的精确测量，利于准确判断药液更换时机，避免了目前经验性判断方法更换溶液的弊端。

基本信息

专利标题：

一种掩膜板清洗机药液检测装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922339048.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-24

授权号：

CN211207070U

授权日：

2020-08-07

发明人：

张麒麟卢玄龙

申请人：

福建华佳彩有限公司

申请人地址：

福建省莆田市涵江区涵中西路1号

代理机构：

福州市景弘专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

徐剑兵

优先权：

CN201922339048.6

主分类号：

G03F1/84

IPC分类号：

G03F1/84 G03F1/82