曲率半径测量装置

授权

摘要

本实用新型涉及一种曲率半径测量装置，所述曲率半径测量装置包括样品台、衍射光阵列产生模块和探测分析模块，通过衍射光阵列产生模块产生并向样品发射衍射光阵列，到达样品表面后，经过样品表面反射发出反射光阵列，探测分析模块接收所述反射光阵列，并根据接收到的反射光阵列的尺寸，获取样品的曲率半径。本实用新型利用衍射光阵列与光源距离不同则阵列大小不同的特性，设计了使用衍射光阵列测量曲率半径的数学模型，并基于该数学模型实现了一种结构简单、测量速度快，而且对激光器、传感器等硬件要求较低的曲率半径测量装置。

基本信息

专利标题：

曲率半径测量装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922329358.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-23

授权号：

CN211121098U

授权日：

2020-07-28

发明人：

梁凯张小波常正凯

申请人：

深圳市速普仪器有限公司

申请人地址：

广东省深圳市南山区西丽镇长源村157栋3楼301

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司

代理人：

黄丽

优先权：

CN201922329358.X

主分类号：

G01B11/255

IPC分类号：

G01B11/255