一种五氧化三钛真空镀膜装置

专利权的终止

摘要

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体为一种五氧化三钛真空镀膜装置，包括设备底座；设备底座固定在地面上，设备底座上设置有镀膜机体，镀膜机体内部设置有若干个镀膜仓，镀膜仓内部密封，镀膜仓下部加工有蒸发仓，蒸发仓内部设置有蒸发装置，镀膜仓顶端通过若干组高压管路与抽真空机连接，镀膜仓内设置有若干组移动轨道，移动轨道上设置有镀膜架，镀膜架的端部设置有密封镀膜门，本实用新型过设置蒸发装置，蒸发装置为能够升降的蒸发装置，在蒸发镀膜的过程中能够通过控制蒸发源与待镀膜件之间的间距进而控制镀膜厚度和镀膜效率。

基本信息

专利标题：

一种五氧化三钛真空镀膜装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922320853.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-23

授权号：

CN211142141U

授权日：

2020-07-31

发明人：

汪韬李云

申请人：

安徽南芯电子科技有限公司

申请人地址：

安徽省芜湖市鸠江经济开发区祥泰路8号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201922320853.4

主分类号：

C23C14/24

IPC分类号：

C23C14/24 C23C14/08 C23C14/54 C23C14/56