本实用新型公开了一种晶圆湿制程设备用烘干槽装置，包括槽壳体，所述槽壳体的内部设有供放置晶圆的内腔，所述槽壳体上安装有喷气管路，所述喷气管路伸入所述内腔以供向所述晶圆吹气，所述内腔的底部设有烘热底层，所述晶圆设置于所述烘热底层的上方。本实用新型所提供的晶圆湿制程设备用烘干槽装置，其结构简明，方便操作，烘干效果好，通过在槽壳体上安装喷气管路，并在槽壳体的内部设置烘热底层，将晶圆统一放在槽壳体的内腔后，便可围绕晶圆的四周及底面产生立体式的烘干效果。