一种用于喷砂设备的TFT平面溅射靶材保护结构
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于喷砂设备的TFT平面溅射靶材保护结构，保护结构包括有紧贴于TFT平面溅射靶材的基片的上表面的第一保护层、贴附于基片的侧面的第二保护层以及包裹设置于TFT平面溅射靶材的背板两端部的第三保护层。其中，第一保护层完全覆盖于基片的上表面；第二保护层沿基片的边缘方向闭合设置，第二保护层的底边平齐于背板的绑定面，第二保护层的上边包覆于第一保护层的边缘；在背板的绑定面，两个第三保护层的内侧边与第二保护层的底边包围形成喷砂区。与现有技术相比，该保护结构能够对靶材的溅射区进行柔性保护，使溅射区的表面保持光洁，保持溅射镀膜的成膜质量。
基本信息
专利标题 ：
一种用于喷砂设备的TFT平面溅射靶材保护结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922268101.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-17
授权号 ：
CN211388351U
授权日 ：
2020-09-01
发明人 ：
郭文明
申请人 ：
东莞市欧莱溅射靶材有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市厚街镇汀山村汀山路121号
代理机构 ：
北京天盾知识产权代理有限公司
代理人 ：
林晓宏
优先权 ：
CN201922268101.8
主分类号 ：
B24C1/08
IPC分类号 ：
B24C1/08 B24C3/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24C
磨料或微粒材料的喷射
B24C1/00
为产生特殊效果的喷射磨料的方法；与这些方法有关的所使用的辅助装置
B24C1/08
用于表面抛光，如使用含液体的磨料
法律状态
2020-09-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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