一种多晶硅还原炉及隔热组件
授权
摘要
本实用新型公开了一种多晶硅还原炉及隔热组件,其中,隔热组件包括隔热套和隔热盖。本方案中隔热组件的隔热套和隔热盖均选用氮化硅制作。氮化硅具有良好的隔热性和韧性,相对于氧化铝陶瓷不容易碎,在高温环境中能够反复多次使用,使用寿命长达30炉次以上,有效延长了隔热组件的使用寿命。
基本信息
专利标题 :
一种多晶硅还原炉及隔热组件
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922243701.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-13
授权号 :
CN211813458U
授权日 :
2020-10-30
发明人 :
庹如刚刘斌唐文东
申请人 :
四川永祥新能源有限公司
申请人地址 :
四川省乐山市五通桥区龙翔路999号
代理机构 :
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 :
刘猛
优先权 :
CN201922243701.9
主分类号 :
C01B33/035
IPC分类号 :
C01B33/035
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素;其化合物
C01B33/00
硅; 其化合物
C01B33/02
硅
C01B33/021
制备
C01B33/027
使用除二氧化硅或含二氧化硅物料以外的气态或汽化的硅化合物的分解或还原
C01B33/035
在存在硅、碳或耐熔金属的热丝情况下,或在存在热硅棒情况下,用气态或汽化的硅化合物的分解或还原
法律状态
2020-10-30 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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