一种单层多自由度气静压纳米定位平台
授权
摘要
本实用新型涉及纳米定位技术领域，且公开了一种单层多自由度气静压纳米定位平台，包括工作台，工作台的上方设有工作箱，工作台的上端左右两侧的前后两端均固定连接有第一支撑腿，四个第一支撑腿的上端分别与工作箱的下端左右两侧的前后两端固定连接，工作箱的内部设有定位机构，工作台连接有水冷机构并通过水冷机构与工作箱连接，水冷机构包括蓄水箱、水泵及风机，蓄水箱的下端与工作箱的上端后侧固定连接，蓄水箱的内部固定设有隔板并通过隔板分为冷却腔及蓄水腔。本实用新型能够有效对压电致动器进行降温，防止压电致动器发送温度形变，影响定位结果误差，同时便于人们快速移动工作平台。
基本信息
专利标题 ：
一种单层多自由度气静压纳米定位平台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922236464.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-13
授权号 ：
CN210896632U
授权日 ：
2020-06-30
发明人 ：
文杰张莹
申请人 ：
三英精控（天津）仪器设备有限公司
申请人地址 ：
天津市武清区开发区福源道北侧创业总部基地C21号楼
代理机构 ：
天津协众信创知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王力强
优先权 ：
CN201922236464.3
主分类号 ：
G12B5/00
IPC分类号 ：
G12B5/00 B25B11/00 B81C1/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G12
仪器的结构零部件，或未列入其他类目的其他设备的类似零部件
G12B
仪器的零部件，或未列入其他类目的其他设备的类似零部件
G12B5/00
仪器或其他设备或其部件的位置或状态的调整，例如，水平调整；倾斜或加速影响的补偿，例如，用于光学仪器的
法律状态
2020-06-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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