一种太阳能电池硅片薄膜制备热丝沉积设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种太阳能电池硅片薄膜制备热丝沉积设备，涉及太阳能电池制造技术领域，本实用新型包括反应室，反应室内设置有竖直布置的热丝和托板，托板用于固定电池硅片，反应室一侧端设置有正对托板的进气口，反应室另一侧端设置有排气口，本实用新型具有结构简单、保证反应气体与电池硅片充分接触、制得的电池硅片薄膜均匀性高的优点。
基本信息
专利标题 ：
一种太阳能电池硅片薄膜制备热丝沉积设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922068458.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-26
授权号 ：
CN211142164U
授权日 ：
2020-07-31
发明人 ：
李忠涌王岚陈坤苏荣眭山
申请人 ：
通威太阳能(眉山)有限公司
申请人地址 ：
四川省眉山市东坡区修文镇进修路8号附1号
代理机构 ：
成都弘毅天承知识产权代理有限公司
代理人 ：
邓芸
优先权 ：
CN201922068458.1
主分类号 ：
C23C16/24
IPC分类号 ：
C23C16/24 C23C16/44 C23C16/455
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/22
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C16/24
仅沉积硅
法律状态
2020-07-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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