一种等离子刻蚀机硅片定压施压夹具
授权
摘要
本实用新型公开了一种等离子刻蚀机硅片定压施压夹具，包括凸形底座和限位槽，所述凸形底座上表面开设有限位槽，所述凸形底座上表面边角处均转动连接有Z字型压架，且Z字型压架共设置有四组。本实用新型通过旋转凹槽内的转盘，并通过转盘可带动齿轮盘进行转动，齿轮盘可同步带动空心齿轮轴进行转轴，其中空心齿轮轴共设置有四组，且每组底部均一体成型有一号斜面圆盘，一号斜面圆盘在偏转时，斜面与二号斜面圆盘相互挤压，从而可通过二号斜面圆盘对固定轴施加一个向下的力，固定轴将力传递到Z字型压架，从而可通过Z字型压架一端的橡胶压盘对硅片表面进行施压，且只需一步即可对硅片进行夹持，使用更加的方便。
基本信息
专利标题 ：
一种等离子刻蚀机硅片定压施压夹具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922052858.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-25
授权号 ：
CN211016996U
授权日 ：
2020-07-14
发明人 ：
廖海涛吕军
申请人 ：
无锡邑文电子科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区金城东路333-1-403
代理机构 ：
常州唯思百得知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
金辉
优先权 ：
CN201922052858.3
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2020-07-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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