碳化硅高温氧化进料装置

授权

摘要

本申请公开了一种碳化硅高温氧化进料装置，包括支架和位于支架上的高温氧化罐，高温氧化罐的下端安装有出料管，出料管上设有连接外接管路的连接管，连接管上设有第一阀门，高温氧化罐的上端设有送氧箱，送氧箱的上端安装有入料箱支架，入料箱支架上端安装有入料箱，入料箱的上端安装有进料管，进料管上设有进料漏斗，送氧箱内设有送氧腔，入料箱与送氧箱之间连接有第二传输管，第二传输管上设有第三阀门，高温氧化罐的一侧设有氧气罐，氧气罐上设有与送氧箱连通的第一传输管，氧气罐的一侧设有进气管，进气管上设有第二阀门，高温氧化罐的一侧设有用于对高温氧化罐内物料加热的加热箱。本实用新型可以有效提高碳化硅高温氧化的效率和质量。

基本信息

专利标题：

碳化硅高温氧化进料装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921997964.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-11-18

授权号：

CN210480244U

授权日：

2020-05-08

发明人：

李晶卢红亮李勇刚蒋镄铠

申请人：

四川矽芯微科技有限公司

申请人地址：

四川省遂宁市射洪县经济开发区河东大道88号

代理机构：

成都玖和知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

胡琳梅

优先权：

CN201921997964.2

主分类号：

B65G65/32

IPC分类号：

B65G65/32 C01B32/97