一种石英舟
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本实用新型公开了一种石英舟,其包括底座和转动件,底座上设有第一舟杆和第二舟杆,第一舟杆和第二舟杆分别止抵在硅片的相邻的两个侧边上,第一舟杆、第二舟杆上分别设有多个用于卡接硅片的卡槽,每个卡槽内容纳两个硅片。转动件为两个,两个转动件分别可转动地连接在底座的两端,每个转动件上均设有第三舟杆,每个转动件具有打开位置和关闭位置,在关闭位置,两个第三舟杆分别止抵在硅片的另外两个相邻的侧边上,在打开位置,两个第三舟杆脱离硅片。该石英舟能够较为牢固的固定硅片,避免硅片被扩散气流吹散的现象发生,且能够降低硅片的背面发生扩散反应的几率。

基本信息
专利标题 :
一种石英舟
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921947934.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-12
授权号 :
CN210403683U
授权日 :
2020-04-24
发明人 :
陈瑶邓伟伟
申请人 :
苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市高新区鹿山路199号
代理机构 :
北京品源专利代理有限公司
代理人 :
胡彬
优先权 :
CN201921947934.0
主分类号 :
H01L21/673
IPC分类号 :
H01L21/673  H01L31/18  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2021-03-05 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : H01L 21/673
变更事项 : 专利权人
变更前 : 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
变更后 : 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 215129 江苏省苏州市高新区鹿山路199号
变更后 : 215129 江苏省苏州市高新区鹿山路199号
变更事项 : 专利权人
变更前 : 阿特斯阳光电力集团有限公司
变更后 : 阿特斯阳光电力集团股份有限公司
2020-04-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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