一种镀膜机用直接测温式工件盘装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种镀膜机用直接测温式工件盘装置，涉及镀膜机技术领域，本实用新型包括镀膜机上的回转轴，回转轴底部连接有工件盘，工件盘上设置有若干组测温装置，测温装置包括设置在工件盘顶部的铂电阻，铂电阻连接有数据线，本实用新型具有结构简单、可直接对工件盘测温、测温数据高的优点。
基本信息
专利标题 ：
一种镀膜机用直接测温式工件盘装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921875472.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-31
授权号 ：
CN210974850U
授权日 ：
2020-07-10
发明人 ：
张鑫周立庆宁提张坚
申请人 ：
成都南光机器有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市龙泉驿区星光西路115号
代理机构 ：
成都弘毅天承知识产权代理有限公司
代理人 ：
黄蓉蓉
优先权 ：
CN201921875472.6
主分类号 ：
C23C14/22
IPC分类号 ：
C23C14/22 C23C14/54 G01K7/18
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
法律状态
2020-07-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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