一种适用于等离子体装置的集尘罩
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摘要
本实用新型公开了一种适用于等离子体装置的集尘罩，用于收集等离子体装置在真空室门开启时排出的固体微粒，属于机械技术领域。包括罩体、挡板1、挡板2、挡板锁紧旋钮、抽吸接口和安装支架。所述挡板1、挡板2两端分别以螺纹连接的形式与罩体两侧内端面相连，挡板1、挡板2与所述罩体、共同构成集尘罩的抽吸空间，所述挡板锁紧旋钮用于调节并固定挡板1、挡板2的角度。本实用新型机构通过所述安装支架与真空室相连，根据真空室门开合时的不同排气特性，用所述挡板锁紧旋钮调节两块活动挡板的角度达到最佳颗粒收集效果，并通过所述抽吸接口将集尘罩与抽吸设备相连接，使等离子体装置在真空室门开启时排出的高热固体微粒得到有效的净化处理。
基本信息
专利标题 ：
一种适用于等离子体装置的集尘罩
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921841226.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-30
授权号 ：
CN210847592U
授权日 ：
2020-06-26
发明人 ：
于蓥李青高地
申请人 ：
辽宁中晟华清科技有限公司
申请人地址 ：
辽宁省沈阳市和平区中华路65-1号（1522）
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921841226.9
主分类号 ：
B08B15/02
IPC分类号 ：
B08B15/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B15/00
防止污物或烟尘从产生处逸出；从产生处收集或清除污物或烟尘
B08B15/02
用容器或罩覆盖产生处
法律状态
2020-06-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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